IT之家 9 月 1 日消息，产业链消息人士 @手机晶片达人 在微博上表示，“由于先进制程产能利用率开始下滑，而且评估之后下滑时间会持续一段周期，台积电计划从年底开始，将部分 EUV 设备关机，以节省 EUV 设备巨大的耗电支出。”根据此前报告，EUV 光刻机生产一天需要 3 万度电左右，一年耗电大约 1000 万度。
IT之家获悉，今年 7 月开始传出消息，受消费电子市场需求低迷影响，不少芯片厂商遭客户砍单，甚至连台积电亦难以幸免，并称不少芯片价格频频跳水，有的芯片价格下跌 8 成，有的芯片价格从 200 元降至 21.5 元。此前“缺芯”潮席卷全球，许多芯片厂商为满足客户需求并且快速抢占市场而大幅扩产。但今年以来，消费电子市场需求明显下滑，导致相关芯片供过于求，出现砍单降价、厂商取消扩产计划等现象。
据报道，台积电目前拥有大约 80 台 EUV 光刻机，主要用于 7nm、5nm、4nm 等先进工艺，今年 9 月份台积电还将计划量产 3nm 工艺，都需要 EUV 光刻机，不过 3nm 工艺的首批订单客户可能仅剩下苹果公司，因此，台积电已决议放缓其扩产进度，以确保产能不会因过度闲置而导致成本压力。
据彭博社报道，ASML 新一代 EUV 光刻机每台耗电约 1 百万瓦，约为前几代设备的 10 倍，预计 2025 年将占台湾地区整体能源消耗的 12.5%，芯片行业可能成为减少全球碳排放的重要绊脚石。
不过针对外界质疑发展先进制程，耗费不少电力，台积电引述 2020 年工研院产业科技国际策略发展所(ISTI)模型推导分析结果，称台积电每使用 1 度生产用电，能为全球减省 4 度电。
台积电表示，公司持续推进半导体高阶制程技术，生产更先进、更具能源效率及更环保的产品，此外，公司积极投入绿色制造，落实节能减碳相关作为，包括致力优化制程能源使用效率，同时和机台设备商合作开发新的节能行动方案。
