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绕过EUV光刻国内厂商开发出DRAM内存芯片新技术

　　EUV光刻机是研制先进芯片的一条路径，但并非唯一解。　　对于国内厂商来说，当前在3D NAND闪存的发展上，就因为不需要EUV机器，从而找到了技术追赶的机会。　　而在DRAM内存芯片领域，尽管三星...