佳能将发售 KrF 半导体光刻机“FPA-6300ES6a”的 Grade10 升级包，可每小时生产 300 片晶圆 IT之家 6 月 18 日消息，佳能宣布将于 2022 年 8 月初发售 KrF 半导体光刻机“FPA-6300ES6a”的“Grade10”产能升级配件包(以下简称“Grade10”升级包)... 大千世界 2022-06-18 102 #佳能 #KrF 光刻机 #光刻机
